ASM에서 분사한 네덜란드 회사인 Levitech는 반도체 산업용 기계를 생산합니다. 시장이 요구하는 반도체의 더 작은 구조와 더 큰 균일성을 달성하기 위해 기계 제조업체는 새로운 열 전달 방법을 구현해야 했습니다. 이를 위해서는 더 빠른 온도 보정과 무엇보다도 더 정밀한 제어가 필요합니다. 이것이 Levitech가 Levitor 기계에서 열 공정을 제어할 대안을 찾은 이유입니다. 네덜란드 Almere의 회사는 JUMO에서 솔루션을 구현할 수 있는 파트너를 찾았습니다.
웨이퍼 제조용 반응기는 적절한 공정 온도로 가열되는 2개의 흑연 디스크로 구성됩니다.To 최적의 결과를 생성하려면 디스크가 특정 기능을 나타내야 합니다. 이 과정에서 가스가 사용되어 웨이퍼가 터치하지 않고 두 디스크 사이를 가리킵니다. 필요한 온도인 섭씨 1,200도를 달성하기 위해 특수 Kanthal® 발열체가 사용됩니다.
목표는 웨이퍼의 매우 빠른 가열과 매우 빠른 냉각을 가능하게 하는 혁신적인 열 전달 방법을 적용하는 것이었습니다. 웨이퍼의 양면에는 0.15mm의 균일한 개구부가 있어 매우 효율적인 열전도율을 보장합니다. 웨이퍼는 몇 초 안에 흑연 디스크의 온도로 가열됩니다. 이들은 특정 가열 제어 시스템으로 제어됩니다.
Levitech의 반도체 생산용 Levitor 기계
가열 제어 시스템은 JUMO의 사이리스터 전력 컨트롤러가 작동하는 곳입니다. JUMO TYA 201은 모든 온도 단계에서 Kanthal® 발열체에 필요한 전류와 전압을 제어하여 공정 중에 정확한 온도 진행을 보장합니다. 매번 동일한 최적의 온도로 웨이퍼를 생산할 수 있는 시스템입니다.
Levitech Levitor의 웨이퍼
Levitech의 Levitor 열처리 공정의 웨이퍼
JUMO TYA 201 사이리스터 전력 컨트롤러의 특성 덕분에 보다 정밀한 제어와 더 빠른 온도 보정에 대한 요구 사항을 충족할 수 있었습니다. 결과적으로 이제 혁신적인 열 전달 방법을 반도체 생산에 적용할 수 있습니다. 이것이 Levitech가 시장 요구 사항을 충족하는 동시에 처리 속도를 높이는 방법입니다.
